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電子潔凈室靜壓差的檢測方法

更新時(shí)間:2017-10-26  |  點(diǎn)擊率:2538

(1)檢測要求
①靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有的門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。
②在潔凈室平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。
③測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。
④所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)到O.lPa。
(2)普通傳遞窗檢測方法
①先關(guān)閉所有的門。
②用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。
③記錄所有數(shù)據(jù)。
(3)測量儀器采用YJB-150補(bǔ)償微壓計(jì),量程0—1 500Pa或其他微壓力計(jì),儀表靈敏度小于O.lPa。
(4)合格標(biāo)準(zhǔn)按照傳遞窗原理潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。
①不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于4.9Pa。
②潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于9.8Pa。
③對于空氣潔凈度等級嚴(yán)于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。
④若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量,至合格為止。

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